A medida que las herramientas de proceso se vuelven más sofisticadas y complejas, se necesitan sensores de fibra con detección estable y fácil instalación. Nuestra amplia gama de productos con características específicas es ideal para la detección de obleas en la producción de semiconductores.
Aplicación: Mapeado de obleas
Para evitar movimientos innecesarios al recoger obleas con una pinza de robot, es necesario detectar el número y la posición de las obleas fijadas en el FOUP. También existe el riesgo de dañar la oblea cuando se introduce la pinza del robot debido al paso estrecho o la deformación de la oblea.
Nuestra solución: Fibra óptica específica para la detección de obleas
OMRON ofrece sensores con características específicas que tienen un cabezal de perfil fino y son fáciles de instalar en brazos robóticos para aplicaciones de producción de semiconductores.
OMRON ofrece una solución para la transferencia de obleas en la producción de semiconductores: un sensor retroreflexivo con el que podrá detectar el número y la posición de las obleas en el FOUP.
Tecnologías con un alto potencial
Sensores diseñados específicamente para la detección fiable de obleas
Los sensores de fibra para el mapeado de obleas tienen un perfil fino y son fáciles de instalar en los brazos del robot. El ajuste del eje óptico también es sencillo. Estos sensores detectan de forma fiable incluso obleas apiladas muy cerca unas de otras.
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