Adaptación a los cambios en el entorno de la planta de producción y materiales respetuosos con el medio ambiente
A medida que aumenta la demanda de productividad y calidad en la producción de semiconductores, el control preciso de la temperatura en la superficie de la oblea se vuelve cuestión esencial para el rendimiento de los equipos. Nuestra avanzada tecnología de control de temperatura, desarrollada a lo largo de muchos años, garantiza una regulación uniforme de la temperatura en varios puntos de la superficie de la oblea.
Uso: control de la temperatura superficial de las obleas
El entorno es diferente en el punto de destino de envío del equipo y es necesario volver a llevar a cabo ajustes de PID en las instalaciones. Es necesario que este ajuste de PID se lleve a cabo en todas y cada una de las piezas, lo que provoca que los cambios de estas resulten muy lentos.
Nuestra solución: un control de temperatura modular avanzado
Nuestra unidad de control de temperatura NX-TC libera a los centros de producción de tener que llevar a cabo las costosas tareas de puesta en servicio y ajuste. Detecta los cambios en las condiciones que pueden afectar a la calidad, como lo haría un trabajador cualificado, y realiza ajustes de PID de forma automática para ofrecer un control de la temperatura que mantiene constantemente las condiciones óptimas.
Con la tecnología de control adaptativo incorporada en este producto, se calculan los valores óptimos de PID automáticamente tanto para el momento de la puesta en marcha como durante la producción estable. Además, es posible monitorizar el estado de control de temperatura de la máquina para ajustar automáticamente el valor de PID y conseguir el control de temperatura óptimo en respuesta a modificaciones, por ejemplo, los cambios de pieza de trabajo y de maquinaria.
Elimina automáticamente las variaciones de temperatura causadas por perturbaciones habituales
Facilita un control automático estable frente a variaciones de temperatura previsibles. Contribuye a la mejora de la calidad y ayuda a aumentar la capacidad de producción reduciendo el tiempo de espera hasta la estabilización de la temperatura.
Uso: control exacto de la temperatura con perturbaciones
El encapsulado avanzado y la alta integración de los semiconductores han generado la necesidad inexonerable de contar con un control de temperatura estricto. Las perturbaciones que se producen habitualmente provocan variaciones térmicas que afectan a la calidad. El tiempo que debe esperarse a que se estabilicen las variaciones de temperatura provocadas por las alteraciones habituales obstaculiza la aplicación de mejoras en la capacidad de producción.
Nuestra solución: un control avanzado de la temperatura
La de eliminación de perturbaciones es una función de control que hace desaparecer automáticamente las variaciones de temperatura que se prevé que se produzcan. Las señales de activación que se introducen en el controlador de temperatura antes de que se produzcan estas perturbaciones activan la función, que se suma o resta de la variable manipulada (VM). El ajuste automático de perturbaciones regula de manera automática el avance (FF o feedforward), la VM, el tiempo de actividad del FF y su tiempo de espera.
Las unidades de control de temperatura NX-HTC y NX-TC proporcionan un control automático estable frente a variaciones de temperatura previsibles, por ejemplo, las causadas por la infiltración de aire exterior al abrir y cerrar las puertas. NX-HTC y NX-TC contribuyen a aumentar la calidad y ayudan a aumentar la capacidad de producción al reducir el tiempo de espera hasta la estabilización de la temperatura.
Tecnologías con un alto potencial
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