A medida que las estructuras de los dispositivos se vuelven más complejas, resulta imprescindible una medición de gran precisión de las obleas y los chips del dispositivo que garantice una producción de semiconductores de alta calidad.
Aplicación: Medición de altura de obleas y chips
La medición de la deformación de la oblea puede ser todo un reto por diversos factores, como la tensión durante el procesamiento o las variaciones de temperatura. A medida que las obleas se vuelven más finas, la deformación durante su procesamiento tiende a ser más pronunciada. Además, la incapacidad de medir con precisión los objetos puede tener un impacto negativo en el rendimiento y la eficiencia de los dispositivos semiconductores.
Nuestra solución: Tecnología de detección de desplazamiento de alta precisión sin contacto
La tecnología de medición láser confocal de OMRON es adecuada para abordar los retos de deformación de obleas, y es que ofrece métodos de medición sin contacto que permiten una alta repetibilidad.
El exclusivo sensor de desplazamiento confocal de luz blanca de OMRON proporciona mediciones de mayor resolución que los sensores láser de desplazamiento tradicionales en superficies en ángulo o curvas y brillantes.
Aplicación: Ajuste del eje Z de la unión de chips
Medir la altura de los chips puede ser todo un reto y, con la llegada de dispositivos como los 3D-IC, es necesario medir con precisión chips de alturas y materiales diferentes. La incapacidad de medir con precisión los objetos también tiene un impacto significativo en el ajuste de la altura del eje Z durante las operaciones de unión.
Nuestra solución: Tecnología de detección de desplazamiento de alta precisión sin contacto
La tecnología de medición láser confocal de OMRON es adecuada para los retos de ajuste de altura del eje Z. Permite medir sin contacto los chips a la vez que ofrece una gran repetibilidad.
El exclusivo sensor de desplazamiento confocal de luz blanca de OMRON proporciona mediciones de mayor resolución que los sensores láser de desplazamiento tradicionales en superficies en ángulo o curvas y brillantes.
Tecnologías con un alto potencial
Principio confocal de luz blanca
OMRON ha sido uno de los primeros del sector en adoptar el principio confocal de luz blanca con su serie ZW. Este principio permite una medición estable de objetos en movimiento en cualquier condición mixta, como zonas irregulares, curvas, inclinadas o estrechas.
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Sensor de desplazamiento de LED blanco confocal sin contacto
El estricto control de calidad, la velocidad de producción y las inspecciones de aspecto están en constante aumento. Para satisfacer estas demandas, se requieren mediciones estables durante el movimiento para lograr inspecciones de calidad que no comprometan la velocidad de producción. Las series ZW se sirve de las ventajas del principio de confocalidad de la luz blanca para cumplir las exigencias de casi todos los tipos de materiales (vidrio, metal, plástico, etc.) y formas (redondas, planas, irregulares, etc.).
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